Вакуумный напылительный пост SEO-TEC

Голосов пока нет
Производитель: 

Вакуумный напылительный пост SEO-TEC ;предназначен для подготовки объектов, исследуемых в электронных микроскопах, а также получения многослойных, многокомпонентных пленок из металлов и полупроводников магнетронным, резистивным, электронным методами распыления.

Прибор может использоваться для исследований в областях химии, физики, биологии, медицины, а также для отработки отдельных технологий по вакуумному напылению и травлению в плазме.

Технические характеристики
1 Камера Прямоугольная до 0,125 м3
2 Остаточное давление, Па 13x10-3
3 Испарители Устройство испарения углей
Резистивный (40 Ам), магнетронный (0.9 кВ)
4 Температура нагрева объектов 1000 C
5 Температура столика охлаждения -150 C
6 Система управления От компьютера
7 Вакуумная система Ручной и автоматический режим откачки
8 Потребляемая мощность, кВ 2
9 Расход воды, л/мин 5
10 Габаритные размеры, мм 500 x 900 x 1500
11 Масса, кг 220
Добавить комментарий