Установка вакуумная SEO-EBV TEC

Голосов пока нет
Производитель: 

Установка вакуумная SEO-EBV TEC предназначена для нанесения покрытия на оптические поверхности методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводников и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.

Эксплуатация и конструкция

Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на оптических деталях, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра.

Установка состоит из: рабочей камеры, откачного поста на базе ТМН, форвакуумного агрегата, электрооборудования для питания и управления вакуумной системой и технологическими системами.

Технические характеристики
1 Давление в камере, мм.рт.ст. 5x10-6
2 Время достижения вакуума, мин, не более 20
3 Температура нагрева в камере, С 100 - 320
4 Количество резистивных испарителей, шт. 2
5 Количество электронно-лучевых испарителей, шт. 1
6 Количество держателей подложек, шт. 4
7 Максимальный размер подложек, мм 50 x 50
8 Напряжение плазменной очистки, кВ 7
9 Ток резистивных испарителей, А, при 24 В 150
10 Ток электронно-лучевого испарителя, мА 500
11 Мощность, потребляемая установкой, кВт 20
12 Система управления От промышленного компьютера
Добавить комментарий